| LDR | | 00000nas k2200205 cr4500 |
| 001 | | 000000170957 |
| 008 | | 130130c199u ulkur p 0 ak1kor |
| 007 | | ta |
| 022 | |
▼a 1598-6543 |
| 040 | |
▼a 247024
▼c 248032
▼d 248032 |
| 049 | 1 |
▼f P |
| 056 | |
▼a 569.4
▼2 4 |
| 082 | |
▼a 621.38152
▼2 21 |
| 090 | |
▼a 569.4
▼b 한16ㅎ |
| 110 | |
▼a 한국반도체장비학회 |
| 245 | 10 |
▼a 한국반도체장비학회지 :
▼x Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology /
▼d 한국반도체장비학회[편]. |
| 260 | |
▼a 서울 :
▼b 한국반도체장비학회,
▼c [199-]-. |
| 300 | |
▼a 책:
▼b 삽도 ;
▼c 26cm. |
| 310 | |
▼a 간행빈도 불명(부정기인지 조차도 알수 없을때) |
| 362 | 0 |
▼a 창간호( )- |
| 653 | |
▼a 반도체
▼a 반도체장비
▼a SEMICONDUCTOR |
| 740 | |
▼a 반도체 및 디스플레이 |
| 990 | |
▼a 관리자2
▼b 관리자2 |
| 005 | | 20130426113410 |