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LDR00995cam 2200253 c 4500
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056 ▼a 569.8 ▼2 3
090 ▼a 569.8 ▼b 홍56ㅇ
1001 ▼a 洪淳寬
24510 ▼a MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 / ▼d 洪淳寬.
260 ▼a 서울 : ▼b 서울市立大學校, ▼c 1993.
300 ▼a 93p ; ▼c 27cm.
5021 ▼a 學位論文(博士) ▼b 서울市立大學校 大學院: ▼c 電子工學科, ▼d 1993
653 ▼a MEMS ▼a SI박막재료 ▼a 박막재료 ▼a 구조적응력 ▼a 서울시립대학교대학원 ▼a 전자공학과 ▼a 논문 ▼a 학위논문 ▼a 박사학위논문
9501 ▼a [비매품]