| LDR | | 00995cam 2200253 c 4500 |
| 001 | | 000000015393 |
| 005 | | 19970909114848 |
| 008 | | 930901s1993 ulka 000 kor |
| 012 | |
▼a KMO199305078 |
| 020 | |
▼a 8933601155
▼g 93560 |
| 040 | |
▼a 247024
▼d 248032 |
| 041 | 1 |
▼a kor
▼h jap |
| 049 | 1 |
▼l EM00024075
▼l EM00031958
▼c 2 |
| 052 | 01 |
▼a 561.84
▼b 이744ㅂ기 |
| 056 | |
▼a 569.41
▼2 3 |
| 090 | |
▼a 569.41
▼b 이885ㅂ |
| 100 | 1 |
▼a 이토 류시 |
| 245 | 10 |
▼a VLSI의 薄膜技術 /
▼d 伊藤隆司,
▼e 石川元 共著,
▼e [機電硏究社]編輯部 譯. |
| 260 | |
▼a 서울 :
▼b 機電硏究社,
▼c 1993. |
| 300 | |
▼a 261p:
▼b 삽도 ;
▼c 23cm. |
| 653 | |
▼a VLSI
▼a 박막기술
▼a 기전연구사 |
| 700 | 1 |
▼a 이시카와 모토
▼e 공저 |
| 700 | 1 |
▼a 이등륭사 |
| 700 | 1 |
▼a 석천원 |
| 710 | |
▼a 기전연구사.
▼b 편집부
▼e 역 |
| 740 | 0 |
▼a 브이엘에스아이의 박막기술 |
| 950 | 0 |
▼b \7000 |
| 965 | |
▼a 전기공학
▼x 반도체 |
| 007 | | ta |