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몬테칼로 전산모사를 이용한 무기질 칼코게나이드 박막의 집속이온빔 리소그라피에 관한 연구 : (A)study on the focused ion beam lithography for inorganic chalcogenide thin films using monte-carlo simulation
상세 프로파일
| 자료유형 | 학위논문 |
|---|---|
| 개인저자 | 이현용 |
| 서명/저자사항 | 몬테칼로 전산모사를 이용한 무기질 칼코게나이드 박막의 집속이온빔 리소그라피에 관한 연구 :(A)study on the focused ion beam lithography for inorganic chalcogenide thin films using monte-carlo simulation /이현용. |
| 발행사항 | 서울 : 광운대학교, 1994. |
| 형태사항 | xiv,133장: 삽도,서식 ; 26cm. |
| 학위논문주기 | 학위논문(박사)광운대학교 대학원:전자재료공학과,1994 |
| 언어 | 한국어 |
소장정보
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인쇄
| No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GM33073 | DP 569.8 이94ㅁ | 가야대학교/정보자료실 2층/정기간행물코너 | 대출불가(별치) |
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