자료유형 : 학위논문
서명 :
MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究
저자 : 洪淳寬
출판사 : 서울市立大學校
청구기호 : 569.8 홍56ㅇ
출판년 : 1993
등록번호 : GM32614
소장처 : 가야대학교/정보자료실 2층/정기간행물코너
도서상태 : 대출불가(별치)